不同气体的等离子体具有不同的化学性质，什么的氢化物可以刻蚀玻璃如氧等离子体具有高氧化性，可以将光刻胶反应氧化生成气体，从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有良好的各向异性，因此可以满足刻蚀的需要。当使用等离子体时，会发出辉光，因此称为辉光放电。等离子体清洗设备的机理主要取决于等离子体中的活性粒子。达到去除物体表面污渍的目的。
等离子清洗机表面活化液经过等离子技术表面处理后，什么的氢化物可以刻蚀玻璃提高表面能，亲水性，不断提高附着力，附着力。表面刻蚀处理液通过反应性气体等离子体技术可以选择性地刻蚀原料的表面。被蚀刻的材料转化为气相，由真空泵排出。加工后的材料具有更大的微观比表面积和优异的亲水性。等离子体清洗机与纳米镀膜液经过等离子体清洗机的处理后，等离子体技术正确引导聚合纳米涂层所组成的物理化学效应。各类材料通过表面涂层，疏水性、疏水性、疏脂性、疏水性。
两种反应机理对表面形貌的影响有显著差异，什么的氢化物可以刻蚀玻璃物理反应可使表面在分子水平上趋于稳定。粗糙和贯穿，从而改变表面粘结性能。此外,等离子清洗表面上的反应机理,物理和化学反应起着重要的作用,是反应离子刻蚀、离子束刻蚀反应,两种清洁可以相互促进,通过离子轰击清洗表面的化学键弱化形式原子状态,易吸收反应物，离子碰撞即清洗热，使其更容易反应，具有良好的选择性、清洗率、均匀性和指向性。。
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