还有许多难以去除的氧化物可以用氢气 (H2) 清洗。但是，玻璃上碰什么附着力比较强只有在真空条件下具有出色的密封性能才能使用。还有许多独特的蒸气，例如（CF4）和（SF6）。蚀刻去除有机物的（效果）更加显着。但使用该类气体的前提是具有较强的耐腐蚀气路和中空结构，并佩戴防护套和手套。第六种常见气体是氮气 (N2)。此类气体主要用于在线等离子体（活化）活化和材料表面改性。当然，它也可以在真空环境中使用。
另外，附着力比较好的油漆高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
等离子体的活性和非活性气体根据产生等离子体所用气体的化学性质不同，玻璃上碰什么附着力比较强可分为非活性气体等离子体和活性气体等离子体。惰性气体如氩气(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化氮(CF4)、活性气体和氧气(O2)、氢气(H2)等。不同类型的气体在清洗过程中有不同的反应机理，活性气体等离子体具有较强的化学反应活性。
整个清洗过程可以在几分钟内完成，玻璃上碰什么附着力比较强因此具有收率高的特点;六、等离子体清洗需要控制真空度Pa左右，这种清洗条件容易实现。
附着力比较好的油漆
由此产生的等离子体密度可以达到1017-1018m^3，电子温度2-4eV，直径30cm。由于很容易在宽压力范围（1 至 ...
