在简单情况下的等离子体相对于绝缘的器壁的电势要高约几倍的Te/e值，任何底材都有附着力的助剂如下图所示。事实上不单是浮置基板，与等离子体交界的一切绝缘体，均会保持一定的浮置电位，其近旁也会形成离子鞘。结果，浮置电位相对于等离子体往往是负的；或者说等离子体电位相对于任何与之接触的绝缘体往往是正的。等离子清洗机电极的电位为Vs，改变它使其与等离子体之间有一个电位差，在电极有电流的情况下，电极相对于等离子体的电位可正可负。
等离子清洗机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场, 用真空泵实现一定的真空度, 随着气体愈来愈稀薄, 分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长, 受电场作用, 它们发生碰撞而形成等离子体, 这些离子的活性很高, 其能量足以破坏几乎所有的化学键, 在任何暴露的表面引起化学反应。
可采用40kHz、13.56MHz、2.45GHz射频发生器，任何底材都有附着力的助剂满足不同清洗效率和清洗效果的需要。通过等离子清洗机在这些行业的应用，可以发现其具有以下特点：1.操作灵活，可简单改变处理气体种类和处理程序；2.使用过程中不会对操作者身体造成任何伤害；3.对于等离子体处理，等离子体清洗机成本很低，性价比高。
恶臭异味的去除率高，任何底材都有附着力的助剂表明实际已经分解了90%以上的污染物质，因为分解后的物质也有部分有异味。 9、等离子废气处理技术处理工业废气技术不是水洗技术，是通过高能量等离子体对污染物的直接击穿和直接轰击，使分子链断裂，并非污染物的转移。。
