直接法常使用NH3、O2、N2、AR或He等气体源经等离子体处理后与硅橡胶表面作用，二氧化钛的光致亲水性机理不同气体等离子体对提升硅橡胶表面亲水性机理不同，使用NH3等离子体处理会在表面引入—NH2；O2则会在材料表面引入—OH和—COOH的混合物；而以He和Ar等惰性气体为反应介质则在硅橡胶表面引入大量自由基，自由基暴露在大气或氧气条件下则会形成过氧化物和氢过氧化物。
在涂银胶前使用等离子清洗机，亲水性机理会显着提高工件的表面粗糙度和亲水性，便于银胶的打结和芯片键合，显着增加银胶的使用量，可以省钱，降低成本。等离子清洁器有几个标题。英文名称（plasmacleaner）又称等离子清洗机、等离子清洗机、等离子清洗机、等离子蚀刻机、等离子表面处理机、等离子清洗机、等离子清洗机、等离子脱胶机、等离子清洗装置。
液晶玻璃等离子清洗中为了去除部分金属颗粒或其他污染物，亲水性机理使用的活性气体为氧等离子体，等离子清洗机表面性能活泼，可使亲水处理仪器无污染，高效去除油污和有机污染物颗粒。
