1、氧气等离子剥离器（氧气等离子体去除光阻的方法） 与湿法的化学处理工艺不同，氧气等离子体去除光阻的方法等离子清洗机处理是一种干式处理工艺，等离子清洗机所使用的通常都是气体，且为常见的氧气、氮气、压缩空气等气体，不需要使用有(机)化学溶液，而且处理所产生的大多也是二氧化碳等无害气体，正因反应物和产生物都为气体，也就不需要进行烘干、废水处理，因此说等离...
