等离子体的清洁效果取决于等离子体的密度和电子温度。例如，内聚力和附着力的相互作用密度越高，清洗速度越快，电子温度越高，清洗效果越高。因此，放电气体压力的选择对于低压等离子清洗工艺非常重要。 (2)气体种类：待处理基材及其表面污染物种类繁多，不同气体排放产生的等离子清洗速度和清洗效果完全不同。因此，应有针对性地选择等离子体的工作气体。例如，使用氧等离子体去除物体表面的油脂和污垢，或使用氢氩混合气体等离子体去除氧化层。
等离子清洗机电源的主要电流是13.56KHZ的射频电源和40KHZ的中频电源。小型电源的功率为数百瓦。二是放电气体的压力：对于低压等离子体，内聚力和附着力的相互作用随着放电气体压力的增加，等离子体密度越高，电子温度越低。等离子体的清洁效果取决于其密度和等离子体温度。例如，密度越高，清洗速度越快，等离子温度越高，清洗效果越好。因此，放电气体压力的选择对于低压等离子清洗工艺非常重要。
射频放电、微波放电、直流辉光放电、电晕放电、接枝阻挡放电。其中，内聚力和附着力的前三个通常在第7页放电，后两个在常压下可以产生冷等离子体。在等离子等离子清洁器的射频放电中，在低压电容器的两极之间施加低频（50-500Hz）或高频交流电压以产生辉光等离子体。通过双极溅射，粒子在电场力的作用下发生空间共振转移。等离子 等离子清洗机微波放电是将微波能量转化为气体分子的内能并激发、离解、电离产生等离子体的一种气体放电方式。
