1、固体表面改性（列举表述固体表面改性的方法） 研究它们相互作用的物理化学过程机理是微电子学、固体表面改性、功能材料等材料发展的重要课题。冷等离子体的高活性可在室温下引起多种化学反应和物理掺杂，固体表面改性但主体材料的整体性能不受影响。等离子体化学气相沉积（CVD）物理气相沉积（PVD）方法广泛应用于功能材料的制备，表明低温等离子体在材料表面改性...
