等离子体表面处理器的气体团簇离子束在加速电极的作用下可以获得高能量，化学导电氧化镀层附着力在局部区域形成高能量密度，在靶材料表面附近激发许多物理化学反应。然而，星团中每个粒子的速度是交替的，每个粒子的平均能量很低。因此，在与传统等离子体平均能量相同的情况下，粒子的能量分数远优于等离子体，目标材料的深层原子在与目标材料反应的过程中不会受到损伤。由于这一优点，气体团簇离子束可以在许多方面得到很好的应用。
等离子清洗机的应用行业非常广泛，镀层附着力试验标准可以看出等离子清洗机与物体表面之间的化学或物理变化不会导致物体发生质的变化。我们的生活包括手机、电视、微电子、半导体、医疗美容、航空航天和车辆。因此，我们的许多制造商合作伙伴都离不开我们。
等离子体产生阶段，化学导电氧化镀层附着力产生大量能量较高的电子和离子；反应分子的活化阶段，等离子体中的高能电子与反应分子发生碰撞，导致反应分子内能发生变化，引起反应分子的激发、解离和电离；产物形成阶段，反应分子激发、解离、电离产生的活性物种不稳定，它们之间会发生各种化学反应，产生反应产物。等离子体清洗机等离子体中的化学反应可分为均相反应、非均相反应和光化学反应。
控制部分的主要电器部件有：真空泵、RF电源、真空计、计时器、浮子流量计、绿色电源指示灯、带灯的蜂鸣器、功率调节器、放空按钮(带自锁)、气体一按钮(带自锁)、气体二按钮(带自锁)、高频电源按钮(带自锁)、真空泵按钮(带自锁)、总电源旋钮开关。钮(带自锁)、真空泵按钮(带自锁)、总电源旋钮开关。
