XY轴采用精密级滑块及细杆调节，感应耦合等离子束刻蚀确保贴合精度。 压力显示采用日本SMC数显压力表，精准、直观。 高可靠性感应系统，配置多项报警功能，实现安全高效。 进口PLC微电脑集中控制，工作稳定可靠，可扩展功能强。。
冷等离子体： 电子温度高（103~104K）、气体温度低,如稀薄低压辉光放电等离子体、电晕放电等离子体、DBD介质阻挡放电等离子体、索梯放电等离子体等。2、等离子发生器按等离子体所处的状态：（1）平衡等离子体等离子发生器：气体压力较高，北方华创 感应耦合等离子体刻蚀机电子温度与气体温度大致相等的等离子体。如常压下的电弧放电等离子体和高频感应等离子体。
两类等离子体各有特点和用途（见等离子体的工业应用）。气体放电分为直流放电和交流放电。 在科学技术和工业领域应用较多的发生器有电弧等离子体发生器（又称等离子体喷枪、电弧加热器）、工频电弧等离子体发生器、高频感应等离子体发生器、低气压等离子体发生器、燃烧等离子体发生器五类。最典型的为电弧、高频感应、低气压等离子体发生器三类。它们的放电特性分别属于弧光放电、高频感应弧光放电和辉光放电等类型。
2015年初，感应耦合等离子束刻蚀SEMI要求美国政府修改半导体设备出口管制清单，取得突破性成果。认识到中国存在各向异性等离子刻蚀设备，近20年来美国国家安全出口取消管制（专业光伏媒体/世纪新能源网）。这也离不开中微半导体在市场上推出的等离子清洗机CCP机，以及北方微电子在Logic 28nm硅刻蚀方面的历史性突破。。
例如，北方华创刻蚀事业部可用作电子束提取窗、高频大功率电子器件、高灵敏度弹性表面波滤波器、切削工具等。阶段是到达基质表面的碳。以基体表面缺陷、金刚石子晶等为中心的原子的成核和生长。因此，北方华创刻蚀事业部决定金刚石成核的因素有： 1. 基体数据：由于成核取决于基体表面碳饱和程度和到达核心的碳量，因此...
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它由压力调节和处理部件、带报警输出的减压表、真空电磁阀、流量计等组成。下面是详细的介绍，北方华创刻蚀机介绍帮助大家更好的理解。气动调节处理装置：低气压装置进气由于气体一般是洁净的工艺气体，气体压力调节和处理元件的基本结构主要由压力调节阀和过滤器组成。其主要作用是将气压控制在要求的压力范围内，过滤气体...
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