等离子清洗的工作原理是利用真空泵将工作室进行抽真空达到30~50Pa的真空度，单根导体绝缘附着力再在高频发生器交变电场的作用下将气体进行电离，形成等离子态，其显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见光，材料处理温度接近室温。活性等离子对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，从而达到清洗目的。
前者代表从非热平衡速度分布到热平衡麦克斯韦分布的转变，单根导体绝缘附着力后者代表物质、动量、能量等在空间流动中的稳定非热平衡状态。弛豫过程通常用各种弛豫时间来表示，其基本原理是带电粒子之间的碰撞。带电粒子之间的力是长期库仑力，在德拜中，一个粒子可以同时与多个粒子进行长距离的相互作用，引起近距离碰撞（两个粒子的近距离碰撞）和远距离碰撞（两个粒子的近距离碰撞）粒子）。一个粒子与远处的多个粒子碰撞）。
通常情况下，单根导体怎么增加附着力物质以固态、商业态和气态三种状态存在，但在一些特殊情况下可以以第四种状态存在，比如太阳表面的物质、地球大气层电离层的物质等。这类物质的状态称为等离子体态，也称为势物质的第四态。以下物质存在于等离子体中。高速运动的电子；处于活化状态的中性原子、分子和原子团（自由基）；电离原子和分子；分子解离反应过程中产生的紫外线；未反应的分子、原子等，但物质作为一个整体保持电中性。
自由基的用处主要是反映在化学反应环节中势能传输的（活）化用处，单根导体怎么增加附着力激发模式的自由基势能高，易于与物质表层分子结合产生新的自由基，新产生的自由基也处于不稳定的高能模式，很可能发生分解反应，在变成 小分子的同時转化成新的自由基。这种化学反应环节可能会继续进行，分解成H2O、CO2等简单分子。
单根导体绝缘...
