真空式等离子清洗机主要靠真空泵来抽真空，烤漆后附着力不良属在线式和手拉门式比较常见，所使用的真空泵有一泵也有两个泵，均是通过触摸屏操作控制，控制方式分为手动控制和自动控制。一、手动操作方式。通过按动触摸屏上相应的虚拟按钮，手动控制真空式等离子清洗机，即真空泵打开。
低温等离子体处理复合材料的ESCA光谱分析:低温等离子体中的中性粒子，压铸件烤漆后附着力不够如原子、激发态分子或原子，将其平动能和振动能转移到复合材料中，使复合材料表面受热。离解能(氧自由基)在复合材料表面通过消除、加成和氧化等化学反应消耗，也可以通过氧自由基在固体表面的重新组合而加热。激发态原子，或以辐射光量子的形式将原始吸收的能量释放回基态，然后与复合材料表面，复合材料表面的大分子形成氧自由基。
等离子专用清洗工艺主要是基于等离子溅射和蚀刻所带来的物理和化学变化。等离子清洗机的清洗原理如下。等离子体与物体表面的相互作用等离子体中除了气体分子、离子和电子外，烤漆后附着力不良还有电中性原子或原子团。由能量（也称为自由基）和等离子体发射的光激发的激发态。其中，波长短，紫外线因能量而在等离子体与物质表面的相互作用中起重要作用。下面分别介绍这些功能。
等离子清洗工艺使用方便，烤漆后附着力不良空气符合要求，在有污染的情况下，清洗后物体表面完全干燥。用等离子清洗机清洗IC芯片：在IC芯片制造领域，等离子处理机是一种不可替代的成熟工艺，无论芯片源离子注入还是晶圆镀膜都可以轻松去除等离子清洗功能。通过超清洗处理和表面活化，如去除晶片表面的氧化膜、有机物和掩模，提高晶片表面的湿润度。
