高压放电的表面处理仅改动表面特性而不影响资料体积特性。 经过在电极之间建立高电位差，影响漆附着力的因素放电维持在电极之间的大间隙中。施加高电压仅仅有用医治的一个条件。对高速移动部件的一致处理需求从电源到放电区域的高效能量传递。当电子在电极之间的间隙中振荡时，在15-25kHz的频率下的电晕放电完成了高效的能量转移。现已标明，频率越高，完成给定医治水平的功率越低。
等离子清洗机可以使用的气体有很多。每种气体都有自己的性质。有的反应强烈，影响漆附着力的因素有的反应缓慢，多种气体也可以混合或依次使用。这是根据清洗物料和需要，由技术人员来匹配工艺，并在PLC上设定参数，后期自动使用。第四是清洗时间。一般来说，对物料进行等离子清洗的时间越长越好，但在实际操作中，清洗几乎是在流水线上进行的，时间过长，影响生产效率。此外，如果等离子清洗温度高，停留时间过长也可能会损害物料的外观。
等离子清洗设备的氧化灰化工艺也可以在增加氧化量的基础上达到改善外延缺陷的目的。然而，影响漆附着力的因素这样的工艺导致沟槽表面上的氧化硅层更厚。如前所述，去除灰化产生的氧化硅层的工艺也会破坏浅沟槽隔离的氧化硅层，影响器件的性能，所以氧化灰化工艺是硅锗工艺。。等离子清洗设备的表面处理技术有着广泛的应用。由于工业产品对质量和环保的要求越来越高，市场上很多工业产品都需要等离子清洗设备等高科技设备。
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