1、对亲水性固体表面（去离子水对亲水性的影响） 而且，去离子水对亲水性的影响由于同时清洗多个晶圆，自动清洗台无法避免交叉污染的缺点。洗涤器也采用旋转喷涂方式，但配合机械擦拭，有高压、软喷涂等多种可调模式，用于适合用去离子水清洗的工艺，包括晶圆锯切、晶圆减薄、晶圆抛光、研磨、CVD等环节，尤其是在晶圆抛光后的清洗方面。单片晶圆清洗设备与自动清洗台在...
