本文主要介绍等离子清洗机的操作流程及操作注意事项,方便大家在使用过程中,合理正确的使用设备,避免一些错误操作。
等离子清洗机也被称为等离子表面处理仪,是一种比较新颖的技术,它利用等离子体来清洁,可以达到常规清洗无法企及的水平。与激光清洗的直射光线不同,等离子体的方向性不强,这使得它可以深入表面的细微孔洞和凹陷的内部。高精度的时间和功率控制,不会使基片表面产生损伤,表面质量得到保证。具有去除能力极强,非接触式清洗,操作简便,无二次污染的强大优势。
它的工作原理是在真空条件下对充入的气体等离子化,利用产生的高速运动的离子、电子、自由基和活性基团等活性成分处理材料表面,实现清洁效果,同时能够提高材料表面润湿特性,改善表面黏着力,改善材料的表面特性。
等离子清洗机操作流程如下:
(1)接通电源,打开开关,按照说明书要求进行操作。首先检查等离子清洗机连接的氮气瓶和氧气瓶连接正常且气体充足,拧开氮气源主阀,使减压阀的压力调节在0.4bar左右,打开气源开关;
(2)把需要清洁的材料放在搁板上,如果材料尺寸太小可以先放进托盘再放搁板上,关好舱门。
(3)在控制面板上按“ENTER”键进入调节,选择需要的进气口、功率和时间。
(4)选好后按“Start”开始。在近真空舱室中,射频电源在高压下使气体起辉,产生高能等离子体,轰击材料表面,达到清洁效果。5%氩气+95%氮气组合发出粉红色辉光。
(5)结束后等待外部气体充满舱室后方可打开舱门。如果气体没有充满舱室,不要强行开门。打开腔室,取出清...