1、pdms 亲水性（取代PDMS的亲水性材料） 然而，pdms 亲水性待键合的PDMS衬底和硅衬底通常具有相应的微结构，在键合前需要一定的时间对齐结构图案。因此，如何使PDMS的活性表面保持延续时间可以延长，成为保证粘接质量的关键。氧等离子体处理后的PDMS表面通过引入亲水-OH基团代替亲水-CH基团表现出较强的亲水性。同样，由于硅衬底经过浓硫酸...
