如果电子、离子和中性粒子（中性气体）的温度分别为Te、Ti和Tn，电晕机为什么只有一个输出我们称这三个粒子的温度近似相等(Te≈Ti≈Tn)的热平衡等离子体为热等离子体（热等离子体），在实际的热等离子体发生设备中，阴极和阳极之间的电弧放电效应使流入的工作气体电离，输出的等离子体呈射流状，可用作等离子体射流（大气压射流等离子体射流）、等离子体炬等。
在等离子体清洁器设计中，电晕机为什么报警为了将回路中的高频电流控制在合理的取值范围内，高频发生器的输出阻抗常设计为纯电阻，其阻值一般为50高频放电阻抗一般为容性阻抗，高频放电阻抗会因等离子体处理设备反应室内放电条件的变化而发生变化，因此需要调整匹配网络的阻抗匹配和需要加入的放电阻抗，使加入后模拟的负载阻抗与高频发生器输出阻抗一致，从而实现匹配。。
3.电力源功率和频率对等离子体清洗效果的影响；电源的功率对等离子体参数如电极温度、等离子体产生的自偏置电压和清洗效率等有影响。随着输出功率的增加，电晕机为什么报警等离子体清洗速度逐渐增加并稳定在一个峰值，而自偏置电压随着输出功率的增加而增加。由于功率范围基本不变，频率是影响等离子体自偏压的关键参数。随着频率的增加，自偏压逐渐减小。此外，随着频率的增加，等离子体中电子的密度会逐渐增大，而粒子的平均能量会逐渐减小。
该清洗系统包括进料区、清洗区、下料区和可在进料区、清洗区和下料区之间往复移动的装载平台。
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