去除聚合物需要氧基或氮基等离子体，含氯聚酯树脂附着力好吗介质层需要CF4/SF6等含氟等离子体，钛、钽、铝、钨等金属层需要含氯元素的蚀刻气体，如氯化硼、氯气等。等离子体边缘蚀刻可以改善许多与边缘沉积有关的缺陷。当然，从工艺集成的角度来看，边缘蚀刻对后续工艺的影响也需要考虑和综合评价。。等离子体蚀刻机加工技术的关键在于两个方面的应用:1。
其根本原因是不同等离子体在深孔中的吸附位置不同，含氯聚酯树脂附着力好吗导致了两个不同的刻蚀阶段，出口附近有较多含氯较多的InCl2和InCl副产物，所以顶部主要采用化学刻蚀的方式进行刻蚀；而底部加氯的等离子刻蚀清洗机，等离子和副产物较少，以物理刻蚀为主。因此形成了不同的形貌。由于现有的等离子刻蚀清洗机具有控制解离速率和过滤不必要等离子体的功能，通过先进的刻蚀机配置，我们可以准确地定义我们需要的图形。达到精确控制图案化的目的。
而根源是不同等离子体在深孔中的吸附位置不同导致了蚀刻分成两个不同阶段，含氯聚酯树脂附着力好吗在接近出口处含氯较多的 InCl2和InCl副产物较多，故顶部以化学蚀刻为主;而底部含氯的等离子蚀刻清洗机等离子体和副产物较少，以物理蚀刻为主。所以形成了不同的形貌。 由于现有的等离子蚀刻清洗机台都有控制解离率，过滤不需要的等离子体的功能，我们可以通过先进的蚀刻机台配置，精准定义我们需要的图形。达到精准控制图案化的目的。
对于去除的不同材料，含氯聚酯树脂附着力等离子边缘蚀刻器可以具有不同的蚀刻气体组合。需要氧或氮基等离子体来去除聚合物。介电层需要CF4/SF6等含氟等离子体，钛、钽、铝、钨等金属层需要含氯元素蚀刻。 氯化硼和氯气等气体。等离子边缘蚀刻可以改善与边缘区域中薄膜沉积相关的许多缺陷问题。当然，从工艺集成的角度来看，引入边缘蚀刻对后续工艺的影响应该考虑并综合评估。。
