（1）化学反应化学反应中常用的气体有氢气(H2)、氧气(02)、甲烷(CF4)等，钢结构防腐漆附着力这些气体在等离子体中反应成高活性自由基，方程是这些自由基会进一步与材料表面发生反应。其反应机理主要是利用等离子体中的自由基与材料表面反应。压力较高时，有利于自由基的产生。因此，如果化学反应是主要反应，就需要控制较高的压力来反应。
等离子体是指部分或完全电离的气体，钢结构防腐漆附着力自由电子和离子携带的正负电荷之和完全抵消，宏观上表现为中性电性。等离子体又称等离子体，是由原子电离产生的部分电子和正电子被剥夺的原子组成的电离气态物质。它广泛存在于宇宙中，常被认为是除固体、液体和气体之外的第四种物质状态。等离子体可分为高温等离子体和低温等离子体两种。低温等离子体表面处理（点击查看详情）电离率更低，电子温度远高于离子温度，离子温度甚至可以相当于室温。
大气等离子清洗4、等离子蚀刻在等离子蚀刻的过程中，防腐漆附着力等级被蚀刻的物体由于处理气体的影响而变成气相（例如，如下图所示，使用氟气蚀刻硅时）。工艺气体和基体材料由真空泵抽出，表面不断被新工艺气体覆盖。预计蚀刻部分不会被材料覆盖（例如，半导体行业使用铬作为掩蔽材料）。等离子方法也用于蚀刻塑料表面，填充的混合物被氧气焚烧，并且可以一起获得分布分析。
物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，哪种防腐漆附着力最强使污染物脱离表面最终被真空泵吸走;化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走挥发性的物质。以物理反应为主的等离子体清洗，其优点在于本身不发生化学反应，清洁表面不会留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化学纯净性;缺点就是对表面产生了很大的损害，会产生很大的热效应，对被清洗表面的各种不同物质选择性差，腐蚀速度较低。
