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喷涂表面附着力

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湿法清洗仍是行业主流,喷涂表面附着力占清洗工艺的90%以上。湿法工艺是利用腐蚀性和氧化性化学溶剂对随机缺陷进行喷涂、擦洗、蚀刻和溶解,使硅片表面的杂质和溶剂与可溶性物质和气体发生化学反应的过程。直接地。使用超纯水对硅片表面进行清洗、干燥,实现符合清洁度要求的硅片。可以采用超声波、加热、真空等辅助技术手段来提高硅片的清洗效果。湿法清洗包括纯液体浸泡、机械擦洗、超声波/兆声波清洗、旋转喷淋等。

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