以物理反应为主的等离子体清洗，PE的附着力促进剂也叫做溅射腐蚀（SPE）或离子铣（IM），其优点在于本身不发生化学反应，清洁表面不会留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化学纯净性，腐蚀作用各向异性；缺点就是对表面产生了很大的损害，会产生很大的热效应，对被清洗表面的各种不同物质选择性差，腐蚀速度较低。以化学反应为主的等离子体清洗的优点是清洗速度较高、选择性好、对清除有机污染物比较有效，缺点是会在表面产生氧化物。
目前，如何增加PE的附着力可再生燃料电池主要应用于航天器和航天器的储能系统以及便携式能源系统中，PEMFC(PEMFC)是燃料电池系列的典型代表，具有启动快、使用时间长、比功率大、特别适用于移动电源和各种移动电源，是电动汽车和其他车辆的理想电源之一。可再生燃料电池和PEMFC的发展对新能源技术的发展起着重要的作用。传统的PEMFC技术主要包括膜电极、双极板等。
在等离子过程中，PE的附着力促进剂石油分解并产生剧毒化合物(如全氟异丁烯)。这些油类化合物本身就能引起危险的事故。•氟化油(PFPE)必须作为特殊废物处置。用空气或氮气冲洗泵。这个解决方案应该是首选。工作原理如下:二、干式泵工作时带腐蚀性气体可采用腐蚀性气体(CF4 /O2、SF6……)。开展工作，研制出专用真空泵。以下旋转叶片泵适用于广泛的应用。然而，频繁使用这些带有腐蚀性气体的泵会限制它们的使用寿命。
等离子体清洗具有工艺简单、操作方便、不处理废物、不污染环境等优点。但不能去除碳和其他非挥发性金属或金属氧化物杂质。等离子体清洗机常用于光刻胶的去除过程中。在等离子体反应体系中引入少量氧气。在强电场作用下，如何增加PE的附着力氧气产生等离子体，使光刻胶迅速氧化成挥发性气体状态，抽走物质。
