等离子清洗机又称等离子蚀刻机、等离子脱胶机、等离子活化剂、等离子清洗机、等离子清洗机表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理设备广泛用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆剥离、等离子镀膜、等离子灰化、等离子活化、等离子表面处理等。同时去除有机污染物、油和油脂等离子清洁剂可用于使产品表面达到可靠的水平。除了长期的粘合作用外，如何增加油脂的附着力还可以赋予新的实用性能。
因此应该有针对性地选择等离子体的工作气体,如可选用氧气等离子体去除物体表面的的油脂污垢,选用氢氩混合气体等离子体去除氧化层。(三)放电功率:放电功率增大,可以增加等离子体的密度和活性粒子能量,因而提高清洗效果。例如,氧气等离子体的密度受放电功率的影响较大。(四)暴露时间:待清洗材料在等离子体中的暴露时间对其表面清洗效果及等离子体工作效率有很大影响。暴露时间越长清洗效果相对越好,但工作效率降低。
氢等离子体清洗BGA焊球氧化物的具体工艺过程预清洗BGA的焊球上除了有氧化物，如何增加油脂的附着力还有其他一些污染物，如油脂和灰尘等，这些明显的污染物首先必须采用预清洗的过程把它去掉。典型的预清洗过程包括化学溶剂浸泡和化学溶剂超声波清洗。化学溶剂浸泡和超声波清洗能洗掉比较明显的污垢，为后来的氢等离子体清洗做好准备。
反应等离子体是指等离子体中的活性粒子...
