这是由于在高CO2浓度下，如何增加粉末附着力体系内过多的活性氧物种一方面与CH4分子作用生成氧化产物，另一方面与已生成的C2烃产物作用，促使C2H6、C2H4、C2H2转化为氧化产物。CO收率则随CO2浓度增加呈上升状态，并在CO2浓度高于50%时成为恒值。同时，随着体系中CO2浓度由15%增至85%，产物中H2和CO的摩尔比率由3.5降至0.6。
而电子在X方向振荡往复运动，增加粉末附着力在鞘层中获得的速度会在等离子体中逐渐消散，中心的电子数密度往往很高。如果趋肤深度和电子中性粒子的平均自由程不太小，鞘层中的电子数密度很低，如下图所示。。等离子体发生器利用等离子体的高能量吸附到固体表面，使表面的高分子有机物分子链断裂形成小分子，小分子链进一步断裂形成H2O和CO2，最后使分子气化，剩下的分子产生一些极性基团，增加表面能。
由充电效应引起的栅极氧化层退化是集成电路制造技术中的一个严重问题。引起PID的主要机制有:(1)等离子体密度。高等离子体密度意味着充电损伤模型中电流越大，如何增加粉末附着力高等离子体密度更容易引起PID问题。Krishnan等发现当ICP蚀刻反应室的高度从8cm降低到5cm时，晶片表面的电场强度显著增加。等离子体密度的增加会导致带电，导致严重的设备损坏。(2)等离子体局部不均匀性。
从反应机理来看，如何增加粉末附着力等离子清洗通常涉及以下几个过程。一种气相，其中无机气体被激发成等离子体状态，气相物质吸附在固体表面，吸附的基团与固体表面分子反应形成产物分子，产物分子分解形成；反应残留物从表面脱落。等离子清洗技术的最大特点是无论被处理的基材类型如何，都可以进行处理。
增加粉末附着力
