所以整个真空等离子体是电子和离子的混合物，奉贤防腐涂料附着力检测激发的原子，原子和自由基。因为各种化学反应都是在高激发态下进行的，与经典化学反应完全不同。因此，真空等离子体的原子或分子性质通常会发生变化，即使是稳定的惰性气体也会变得非常强。真空等离子体由真空产生系统、电气设备自动控制系统、等离子体发生器、真空室架、机械等组成。真空系统和真空腔可根据客户特殊要求定制。
PFM的主要作用是：有效控制进入等离子体的杂质；有效去除辐射到材料表面的热功率；在非正常停机时保护其他部件免受等离子轰击造成的损坏。同时，防腐涂料附着力要求面对等离子体的材料应与反应堆的运行寿命、可靠性和维护相一致。因此，等离子体材料的一般要求是耐高温、低溅射、低氢（氚）保留率以及与结构材料的相容性。碳基材料和钨是Z的有前途的P调频候选材料。
简而言之，防腐涂料附着力要求自动清洗台是多片同时清洗，其优点在于设备成熟，产能高，而单片清洗设备则是逐片清洗，优点在于清洗精度高，可以有效地清洗背面、斜面和边缘，同时避免晶片之间的交叉污染。在45nm以前，自动清洗台即能满足清洗要求；而低于45nm时，依靠单晶圆清洗设备来达到清洗精度要求。当今后半导体工艺节点不断减少时，单晶圆清洗设备成为可预测技术下的主流清洗设备。工艺点减少挤压良率，促进清洗设备的需求上升。
如此产生的电离气体叫做气体放电等离子体。大气等离子清洗机按所加电场的频率不同，防腐涂料附着力要求气体放电可以分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等多种类型。直流（DC）放电因其简单易行，特别是对于工业大气