惰性气体如氩气（AR）、氮气（N2）、三氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）、空气以及氧气（O2）和氢气（H2）等活性气体用于不同的清洗工艺。气体的反应机理不同，如何让文案具有附着力活性气体的等离子体具有很强的化学反应性。具有不同性质的气体有不同的污染物选择用于清洁。当一种气体被一种或多种附加气体渗透时，这些元素的组合可以产生所需的蚀刻和清洁效果。
（5）平时对等离子清洗机进行维护或保养时，如何让文案具有附着力需要先关闭等离子发生器电源，再进行相关维护工作。。等离子体表面处理技术在离子束刻蚀气体团簇中的应用；用等离子体表面处理器进行气体团簇离子束刻蚀具有传统等离子体刻蚀所不具备的一系列特性。在传统等离子体中，电子和离子的能量分布很宽，少数高能粒子在刻蚀靶材料过程中可以穿透表面数层原子，对衬底造成损伤。
3、化学性质活泼，如何让文案具有附着力较易发生化学反应，如等离子体去除有机物等。4、发光特性，可制作多种光源。比如，霓虹灯、水银日光灯等都是等离子发光现象。plasma设备产生的等离子体具有上述特征，是由于等离子体内电子与气体分子之间的碰撞所致。当碰撞能很小时，发生弹性碰撞，而电子的动能几乎没有变化。当碰撞能量很高时，分子中低能电子绕核运动，在碰撞中将获得足够高的能量，从而被激发到远离核的高能级轨道上进行运动。
