例如,五金附着力打底助剂在外壳粘合前,有效保护汽车前大灯,避免进水。汽车工业的发展依赖于稳定而精细的过程。等离子清洗机工艺优于其他预处理技术的应用,符合汽车行业的严格要求,操作简单,加工效率高。因此,它被各行各业的制造商所采用,成为生产过程中不可缺少的重要组成部分。
在线等离子体清洗机中,家具五金附着力要求将两个电极置于密封容器中形成电场,使真空泵达到一定的真空度,气体越来越稀薄,分子之间的距离越大,分子与离子的距离越远,在电场的影响下,它们会相互碰撞,形成高效的在线等离子体清洗机,其能量足以破坏所有化学键,任何暴露表面都可以发生化学反应;不同气体的等离子体具有很强的氧化性能,如氧离子,可以将其氧化成气体,具有清洁度。气体等离子体具有良好的各向异性,满足腐蚀要求。
简单而言,五金附着力处理剂自动清洗台是多片同时清洗,的优势在于设备成熟、产能较高,而单晶圆清洗设备是逐片清洗,优势在于清洗精度高,背面、斜面及边缘都能得到有效的清洗,同时避免了晶圆片之间的交叉污染。45nm之前,自动清洗台即可以满足清洗要求,在目前仍然有所应用;而在45以下的工艺节点,则依赖于单晶圆清洗设备达到清洗精度要求。在未来工艺节点不断减小的情况下,单晶圆清洗设备是目前可预测技术下清洗设备的主流。
在目前的集成电路生产中,五金附着力打底助剂仍有50%以上的材料由于晶圆表面的污染而损耗。而其工艺质量将直接影响到设备的成品率、性能和可靠性,因此国内外各大公司和研究机构都在不断地研究清洗工艺。等离子体清洗具有工艺简单、操作方便、不处理废物、不污染环境等优点。但不能去除碳和其...