大气等离子清洗机通常在电场作用下产生气体击穿和导电物理现象称为气体放电。由此产生的电离气体称为气体放电等离子体。大气等离子清洗机根据电场的频率，按键导电油墨附着力气体放电可分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等类型。直流放电由于其简单易行的特点，特别是在大功率的工业大气等离子体清洗装置中，仍被广泛使用。低频放电范围一般为1 khz，目前装置常用的频率为40kHz。
就像把固体转变成气体需要能量一样，按键导电油墨附着力产生等离子体也需要能量。等离子体能够导电，与电磁力起反应。等离子清洗机中产生等离子体的装置，是在密封容器中设置两个电极形成电场的，然后实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，在电场作用下，发生碰撞而形成等离子体，产生辉光放电。辉光放电时的气压大小、放电功率、气体成分及流动速度和材料类型等对材料刻蚀效(果)有很大影响。
刻蚀的作用在于将印刷图案以极高的准确性转移到基底上，喷涂导电油墨附着力因此刻蚀工艺必须有选择地去除不同薄膜，基底的刻蚀要求具备高度选择性。否则，不同导电金属层之间就会出现短路。另外，刻蚀工艺还应具有各向异性，那样可保证将印刷图案精确复制到基底上。 20世纪70年代，微电子元器件产业开始采用等离子刻蚀技术。等离子体可将气体分子离解或分解为化学活性组分，后者与基底的固体表面发生反应，生成挥发性物质，然后被真空泵抽走。
