工作压力对等离子清洗效果的干扰 工作压力对等离子清洗效果的干扰:工作压力是等离子清洗的重要参数之一。压力的增加意味着等离子体密度的增加和平均粒子能量的降低。提高以化学反应为主的等离子密度可以显着提高等离子系统的清洗速度,小型数控等离子起孤后不走但以物理影响为主的等离子清洗系统的效果尚不清楚。此外,压力的变化可能会改变等离子清洗反应的机理。
如果其他工艺参数保持不变,小型数控等离子起孤后不走则气体的电负性决定了 VDC。 O2和N2等电负性具有高的负偏压VDC,而含有F、Cl和Br的气体具有高电负性,因为VII族元素很容易吸附自由电子。含有因子 F、Cl 和 Br 的气体将具有显着降低的电子密度。含 F 的气体比含 Cl 的气体具有更高的电负性,SF6 是典型的电负性气体。气体流速一般对VDC没有显着影响,但在使用混合气体时,VDC随着气体相对流速的增加而单调增加。
, 由各种梯度引起的漂移运动引起;由速度分布焦虑引起的损失锥不稳定性;以及波间相互作用引起的参数不稳定性。微观不稳定性理论是基于动力学理论的。换句话说,数控等离子设置参数它是从 Vlasov 方程研究的。线性理论通常用于研究不稳定性,它只能确定系统是否稳定,并且在某些情况下可以给出不稳定性在第一时刻的增长率。如果在适当的条件下扰动幅度增加并且演化趋于饱和,则应使用非线性理论对其进行研究。
相反,数控等离子设置参数等离子体聚合不仅限于乙烯基单体,还包含普通方法无法聚合的单体分子。
数控等离子设置参数
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