均匀的大气压等离子体和Stremer或Arc的产生阻碍了对基材没有损伤的表面清洗过程，小型超声波清洗机频率这是大气压等离子体的问题所在。此外，与原大气等离子体技术相比，多组分电极更容易膨胀，可应用于从第一代小型基片到第十代3000mm大型放大基片。
小型高频功率等离子体本发明专利技术公开了一种用于超高频电源的小型等离子体发生器，小型超声波清洗机是智商税吗其主要技术方案如下:包括方集框架，所述框架内相互平行设有若干电极，所述电极与超高频电源相连，所述电极包覆有石英管，所述电极包括正极和负极，所述正极设置在所述负极的一侧，所述正极与所述负极之间间隔;所述正极固定在所述框架的顶部，负极固定在所述框架的底部。
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