这种设计灵活,油漆附着力等级 判定用户可以拆下搁板来配置合适的等待离子的蚀刻方式:反应等离子体(RIE)、下游等离子体和直接等离子体。所谓直接等离子体,又称反应离子刻蚀,是等离子体刻蚀的一种直接形式。其主要优点是刻蚀速率高,均匀性高。直接等离子体蚀刻低,但工件暴露在射线区。下游等离子体为弱过程,适用于去除厚度为10-50埃的薄层。目前还没有证据表明在辐射区或等离子体中对工件的损伤的恐惧。
首先将待清洗的工件送入真空室进行固定,油漆附着力等级 判定抽真空泵等设备抽真空至10帕左右的真空度,引入等离子清洗气体。将其置于真空室中(氧气、氢气、氩气、氮气等气体因清洗剂而异),压力保持在 PA 左右,在它们之间施加高频电压。真空室中的电极和接地装置分解气体并使其通过辉光。光的放电使气体电离并产生等离子体。在真空室内产生的等离子体完全覆盖待清洗工件后,开始清洗操作,清洗过程持续几十秒到几分钟。
& EMSP; & EMSP; (3) 在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,工件油漆附着力不足原因使气体分解,通过辉光放电产生电离和等离子体。待处理的工件完全包裹在真空室内产生的等离子体中,开始清洗。通常,清洁过程持续几十秒到几分钟。 & EMSP; & EMSP; (4) 清洗后切断高频电压,排出气体和汽化的污垢,同时向真空室吹气,使压力升至1个大气压。。
等离子洗车机电极附近的护套:将等离子电位设置为 VP,工件油漆附着力不足原因将电极电位设置为 VS。如果电极电位 VS 和等离子体电位 VP 之差为 1,则连接外部电路。电流流过电极。这是由于将外部电势引入等离子体。当VSNE)。空间电荷层,离子鞘层[图 1-2 (A)]。当VS>VP时,在电极附近形成的电场吸引电子而排斥离子,导致电子密度大于离子密度(NE>NI)。换句话说,它是一个由电子组成的空间电荷层。