3. 在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，工件边缘附着力使气体被击穿，并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体，让在真空室产生的等离子体完全笼罩住被处理工件，开始清洗作业，一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等。4. 清洗完毕后切断电源，并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出。。
它的主要原理步骤是：首先将需要清洗的工件送入真空室固定，工件边缘附着力启动真空泵等装置，开始抽真空，排出真空至约10Pa真空度；然后将等离子清洗用的气体引入真空室(根据清洗材料不同，选择不同的气体，如氧、氢、氩、氮等)，并将压力保持在 Pa左右；在真空室内的电极和接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电使气体离子化，产生plasma等离子体；在真空室内产生的等离子体完全覆盖被清洗工件后，开始清洗工作，清洗过程持续几十秒至几分钟。
此外，工件边缘附着力当自由基与工件表面分子结合时，会释放出大量的键能，为表面反应创造新的驱动力，消除（去除）表面之间的化学反应。工件材料。二、电子和工作面对低温等离子清洗的影响当电子与工作面碰撞时，吸附在工作面上的气体分子分解解吸，引起大量碰撞。电子的数量有利于化学反应。由于其质量小，电子的移动速度比离子快得多。在等离子处理过程中，电子比离子更快地到达工件表面，从而使表面带负电。这有助于引发进一步的反应。
