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首先谈谈中频等离子清洗机的放电，德固赛附着力由于中频电源直接输出到电极板的电压较高，其自偏压较高，产生的负自偏压引起了正离子的功率吸收，这也会直接引起电极板的温度升高；同时由于在这过程中，离子会吸收部分的功率，因此用于电离的电子的功率吸收就与相应的减少了，从而造成等离子体密度的较低和离子的能量较高，工艺处理温度也会稍高。
