活性氧（活性原子氧）将聚酰亚胺薄膜迅速氧化成挥发性气体，常见的薄膜附着力测量方法通过机械泵抽出，去除硅片上的聚酰亚胺薄膜。低温等离子表面处理机等离子脱胶的优点是脱胶操作方便、脱胶效率高、表面清洁光滑、无划痕、成本低、环保。介电等离子体蚀刻设备通常使用电容耦合等离子体平行板反应器。在并联电极反应器中，反应离子蚀刻室采用非对称设计，阴极面积小，阳极面积大，被蚀刻物放置在面积较小的电极上。
实际应用表明，薄膜附着力测量使用其极干净的油是不合适的，等离子表面处理机虽然对物体表面少量的油有很好的效果，但对较稠的油的去除效果(果)并不理想。一方面可以用来去除油膜，必须进行长时间的处理，大大增加了清洗成本。另一方面，当它与厚的油垢接触时，引起油垢分子结构中不饱和键的聚合、偶联等复杂反应，从而形成坚硬的树脂化三维网络结构。这种薄膜一旦形成，就很难去除。所以一般只使用正峰等离子体面仪对厚达几微米的油进行清洗。
例如，常见的薄膜附着力测量方法在等离子体中，利用等离子体的化学合成作用形成新的化学药品，或利用粒子的聚合作用在表面沉积形成薄膜等。。等离子体表面处理技术作为一种新型的表面处理技术有其独特的优势。等离子体技术采用气相反应，全程无液体，反应迅速。具有高(效)率、低能耗、环保等优点。等离子体技术广泛应用于各种极不相同的用途，从微电子工业中用于制造集成电路到处理各种聚合物薄膜和广泛用于毁灭...
