等离子清洗机的主要功能有清洗、蚀刻、等离子电镀、等离子涂层、等离子灰化、表面改性等。由于体积小，建宁定制等离子清洗机这些小型真空等离子清洗机不能批量操作。因此，小型等离子清洗机通常放置在实验室中用于科研目的。小型等离子清洗机完成后，大型等离子清洗机即可批量运行。这就是小型等离子清洗机的存在。总之，这些采购的小型真空等离子主要来自国内各大高校、医院等科研院所。小型真空等离子清洗机的产品功能其实和大型机的产品功能是一样的，如下。
在非弹性碰撞过程中，建宁定制等离子清洗机粒子的总动量守恒，总动能不守恒，至少有一个粒子的内能发生变化，如光子随新粒子产生。通常，当等离子体清洗机中等离子体粒子的内能发生变化时，粒子的状态也会发生变化，有时还会伴随着辐射，甚至会产生新的粒子，如等离子体中的激发、电离、核聚变等。
1.4 氧化物 半导体圆片暴露在含氧气及水的环境下表面会形成自然氧化层。这层氧化薄膜不但会妨碍半导体制造的许多工步,还包含了某些金属杂质,在一定条件下,它们会转移到圆片中形成电学缺陷。这层氧化薄膜的去除常采用稀氢氟酸浸泡完成。等离子清洗机在半导体晶圆清洗工艺上的应用等离子体清洗具有工艺简单、操作方便、没有废料处理和环境污染等问题。但它不能去除碳和其它非挥发性金属或金属氧化物杂质。