大气等离子清洗 4. 等离子刻蚀 在等离子刻蚀过程中，镀锌附着力强度被刻蚀的物体由于处理气体的影响而变成气相（例如用氟气刻蚀硅时，下图）。工艺气体和基体材料由真空泵抽出，表面不断被新工艺气体覆盖。预计蚀刻部分不会被材料覆盖（例如，半导体行业使用铬作为掩蔽材料）。等离子法也用于蚀刻塑料表面，填充的混合物可以与氧气一起焚烧并进行分布分析。蚀刻法在POM、PPS、PTFE等塑料的印刷和粘接中作为前处理方法非常重要。
plasma设备技术在高分子材料上的应用有如下优点:①属于干试工序；节省能源、无污染；满足节能、环保要求；②plasma设备时间短,效率高;③plasma设备对所处置的材质无严格要求，影响热浸镀锌附着力的因素具有普通适应性;④plasma设备可解决外形凹凸的材质，材质表面处理均匀性好；⑤反应环境温度低;⑥plasma设备对材质表面的作用仅涉及几到几百（纳）米，材科表面性能改善的同时，基体性能不受影响。
在现代诸多科技领域中，影响热浸镀锌附着力的因素等离子体清洗技术对工业经济和人类文明影响最大的是电子产业链，尤其是半导体产业和光电产业链。众所周知，太阳能光伏产业链对清洁生产技术要求非常严格。即使太阳能极的硅片不需要电子级，69的纯度也很高。等离子清洗机诞生后，在硅片上或多或少污染物的清洗过程中，等离子清洗工艺成为常用的方法之一。等离子体清洗机是等离子体物理、等离子体...
