1、达因值测试有什么用（28达因值测试回缩很快） 表 3.8 各种碳氟比条件对介质层和硅的影响蚀刻率、选择性蚀刻率/(NM/MIN>SELECTIVITYUNIFORMITY/%)SI3N4SIO2SISI3N4/SIO2SI3N4/SISI3N4SIO2SICH3F261226131.51.10.42CH2F2281681.13.50.430.3...
2、等离子清洗机时效性很快怎么解决 等离子清洗机处理后高分子材料表面产生极性基团,材料表面润湿性能得到改善,表面能增加。但是等离子清洗机处理后高分子材料表面并不稳定,等离子处理效果随着时间的推移逐渐消失,材料表面产生的极性基团数量逐渐减少,表面性能又逐步回复到等离子处理前的状态。等离子清洗机时效性很快怎么解决呢，下面是一些延缓时效性的...
