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3、高附着力银浆(高附着力快干单组份环氧树脂) 通过化学或物理作用对工件表面进行处理,高附着力银浆以去除分子水平上的污染物(通常为3-30nm厚),从而提高工件的表面活性。 RF 等离子清洗是一种高度精确的清洗,因为去除的污染物可以是有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、颗粒污染物等。针对不同的污染物,需要使用不同的清洁工艺。一般来说,高频等离子清洗...