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怎么确定工件的达因值

表3.9不同蚀刻机台下侧墙形貌宽度差WaferCD Bottom-CD Middle/nmICP EtcherCCP Etcher10.9220.52.530.31.7412.4512.260.60.3Average0.71.6 在等离子清洗设备侧墙蚀刻工艺中,除均匀性外,opp膜的达因值怎么确定顶部高度损失(Top Loss)也是侧墙蚀刻的重要参数。较少的顶部高度损失,会影响多晶硅栅金属化的厚度,增加金属栅的电阻值。

达因值怎么控制衰减

PTFE等离子清洗机表面处理后的亲水性(hydrophilic),达因值怎么控制衰减对水具有亲合力的性能。如·:金属版材如铬、铝、锌及其生成的氢氧化物以及具有毛细现象的物质都有良好的亲水效果。在有机物中表现为qiang基和qiang基等的亲水性,即它们使该有机物易溶于水。疏水性(hydrophobic),对水具有排斥能力的性能。如:印版图文的亲油成分和印刷油墨都具有良好的疏水性。

等离子体处理器是超细清洁、表面活化和等离子体涂层的关键技术,opp膜的达因值怎么确定几乎可以用于所有材料,包括塑料、金属、玻璃、纸张、纺织品和复合材料。与Openair&Reg;等离子体技术可以以在线方式将等离子体表面处理集成到生产系统中。这样既可以使用廉价的原材料,又可以将不相容的原材料相互粘合,还可以实施高效环保的制造工艺。

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