主要电气控制部分包括:真空泵、射频功率、真空计,计时器,流量计,绿色电源指示灯,蜂鸣器,功率调节器,空按钮(自锁),一个按钮(自锁)气体,气体的第二个按钮(自锁),高频电源按钮(自锁)、真空泵按钮(自锁),总功率旋钮开关。。等离子体发生器可以使操作人员远离对人体有害的溶剂:真空泵低温等离子体发生器的设备绝大多数都是真空泵吸干、泵腔抽吸。一些应用程序是独立的，玻璃附着力不好的表现是其他应用程序是合并的。
不管是真空等离子清洗设备还是常压设备输入气体时需要安装气压调节阀，玻璃附着力不好的表现是以保证汽体在应用中的洁净度。为了有利于观查空气压力，要在压力调节阀上安装气压表或带气压表的压力调节阀。假如要出示欠压保护警报，也可以挑选具备警报作用的气压表或加上压力控制器。管路节流阀一般用在常压等离子清洗设备，它能够用于调节通气风口尺寸，以完成压力和流量监控。使用大多数是迅速快插接头，体积较小。
控制单元主要电气部分有真空泵、射频电源、真空计、定时器、浮子流量计、绿色电源指示灯、带灯蜂鸣器、功率调节器、排气按钮（带自锁）、气体按钮（带自锁） ). 是。 -Lock）、燃气2按钮（带自锁）、高频电源按钮（带自锁）、真空泵按钮（带自锁）、总功率旋钮开关。按钮（带自锁）、真空泵按钮（带自锁）、主电源旋钮开关。按钮式真空等离子清洗机的配置和操作模式也决定了一些缺点。
后边的发现是通过多种形式，玻璃附着力怎么调节如电弧放电、辉光放电、激光、火焰或...
