1、体等离子频率（半导体等离子清洗设备占所有清洗设备比例） 它采用了等离子管作为发光元件，体等离子频率屏幕上每一个等离子管对应一个像素，屏幕以玻璃作为基板，基板间隔一定距离，四周经气密性封接形成一个个放电空间。放电空间内充入氖、氙等混合惰性气体作为工作媒质。以铝基板作激励电极。当向电极上加入电压，放电空间内的混合气体便发生等离子体放电现象。气体等离子体放电产...
