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拉开法测附着力的方法

例如,拉开法测定附着力步骤湿法处理步骤简单易实现,但处理结果含有C、O、F等污染物;高温处理可有效去除C、O等污染物,但处理温度有待进一步优化,后续工艺兼容性差;等离子体处理可以有效去除O、F等污染物,但处理温度和时间不当会对表面带来离子损伤,重构SiC表面。

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5.1 对于初始安装,拉开法测附着力的原理请按照下列步骤操作:第一步:连接等离子清洗机和真空泵之间的真空管路,拧紧O型卡密封连接并锁紧盖子使其密闭。第二步:打开电源和真空泵。在此之前,请确保所有按钮都需要处于复位状态,并确保随附电源插座上的 L、N 和 E 线与 AC220V 输入相匹配。连接到机箱背面以避免危险操作。

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