可以看出通过等离子清洗过后，聚醚醚酮金属附着力产品的性能改变得到了很显著的提升。的优点： 处理速度快、清洁效率高、可靠度高 可控制低的离子能量、不损伤基板 。结合化学反应性及物理撞击性，处理均匀性佳，设备可移除氧化物，可使用多种制程气体，设备稳定高，容易维护。
。工作压力对等离子清洁效果的干扰: 工作压力是等离子清洁的重要参数之一。压力的提升意味着等离子密度的提升和粒子平均能量的减低。化学反应主导的等离子密度的提升可以显著提高等离子系统的清洁速度，聚醚醚酮金属附着力而物理轰击主导的等离子清洁系统效果并不明显。此外，压力的变化可能会致使等离子清洁反应机制的变化。
一层面，提升聚醚醚酮的表面附着力低温等离子发生器利用其高能颗粒的物理作用清洗易氧化或还原的物体，Ar+轰击污垢形成挥发性污垢，由真空泵抽走，避免表面原料反应；另一方面，Ar容易形成亚稳态原子，接着在与氧氢分子碰撞时转换和组合电荷，在物体表面形成氧氢活性原子。。
一般清洗处理持续几十秒到几分钟。清洗完毕后切断高频电压，提升聚醚醚酮的表面附着力并将气体及汽化的污垢排出，同时向真空室内鼓入气体，并使气压升至一个大气压。给一组电极通上射频电源，电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，形成等离子体，活性等离子对物体表面进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到表面处理的目的。。
提升聚醚醚酮的表面附着力
