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除了EED和IED方向的改进,旧漆面不打磨附着力不好吗Forest半导体的混合脉冲(AMMP、气体、射频功率等)、超高偏置射频源和蜂窝(Hydra)静电加热也是在等离子清洗蚀刻机上实现3D结构高质量蚀刻的有效手段。气脉冲又称循环蚀刻,它基本上由保护、活化和蚀刻三部分组成。相当于将原来连续蚀刻中的同时保护、激活、蚀刻分成三个独立的步骤,从而实现对目标界面上蚀刻量的严格控制。混合脉冲是气体、源/偏置功率和空气压力同时产生的脉冲。

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