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真空-等离子蚀刻机由四氟化碳混合气体形成的等离子体颜色为乳白色,氮化硼是亲水性吗肉眼检查类似于一层薄薄的乳白色雾,识别度高,很容易与其他混合气体区分开来。在晶圆制造领域,光刻技术采用四氟化碳的混合气体来实现硅块的电路刻蚀,等离子体刻蚀机采用四氟化碳来实现氮化硅的刻蚀和光刻胶的去除。。

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