在此过程中，材料表面改性分类等离子体还产生高能紫外线，提供能量打破聚合物的键合键，产生表面化学反应。在化学过程中，只有表面上的少数原子层参与，因此聚合物的体积特性可以保持变化形状的可能性。适当选择反应气体和工艺参数可促进特殊聚合物附着体和结构的形成。通常可以选择反应物使等离子体与底物反应以产生挥发性附件。通过反向吸附，利用真空泵去除这些处理材料表面的附着物，无需进一步清洗或中和即可实现表面腐蚀。。
根据电子的化学分析ESCA和SEM的观测结果可以推断，有关材料表面改性的公众号在距离表面数万~数千埃的范围内，在不影响材料体相的情况下，可以显著改善界面物理性能。如果使用高能辐射或电子束辐照处理,是不可能修改只有很薄的表层,这是因为影响(水果)将参与的内部材料,以便连接阶段的特征也发生了变化,但对于需要在较厚的表面层中形成交联结构的材料，如金属丝包层的硬化处理更为合适。等离子体放电与电晕放电很容易混淆。
通过等离子表面处理改变织物的表面特性是一个非常复杂的过程。等离子体中的粒子引起的反应通常发生在材料表面的 10 nm 范围内。由等离子体诱导效应发射的短波紫外线辐射的影响很深，有关材料表面改性的公众号距离表面只有几纳米的深度。等离子体的工作气体和其他工艺参数可以改变上述两类反应的关系和作用范围。织物的外层只有几个原子厚，通常小于 1 nm，但它决定了织物与其他介质之间的相互作用特性。
如果电极表面被导体粉末等污染物屏蔽，有关材料表面改性的公众号在碳的情况下，电极的电容会发生变化。小，放电功率低，容易产生电弧，电极局部温度高。。真空室
