在等离子体中，橡胶软基与涂层附着力试验自由电子与中性分子和原子碰撞。在碰撞和电离之后，会产生更多的电子和离子。根据电子的能量，可以获得更丰富的离子和激发的高能中性粒子，也可以通过将电子吸附在中性气体表面而获得负离子。由于原子分子物理学中每种气体都有自己的能级结构，高能电子可以将气体激发到不同的能级，当气体分子和原子从高能级返回到低能级时，会发射出不同能量的光子。代表不同的能量。通过分析光谱，可以有效地分析等离子刻蚀工艺。
除了等离子体中的气体分子、离子和电子，涂层附着力失效分析被能量激发的电中性原子或原子团（也称为自由基），等离子体发射的光（波长）等）。能量水平。它在等离子体与物质表面的相互作用中起重要作用。。有三种常用的等离子激发频率来分析等离子清洁器的几个频率的差异。激发频率为40KHZ的等离子体为中频等离子体，激发频率为13.56MHZ的等离子体为高频等离子体，激发频率为2.45GHZ的等离子体为微波等离子体。
在等离子体中由甲烷脱氢生成的C2H6和C2H4还会进一步与高能电子作用形成C2H5和C2H3等自由基，橡胶软基与涂层附着力试验因此可以推测甲烷脱氢反应生成微量C3、C4产物主要依下列途径：CH3+C2H5 +M→C3H8 + M（3-21）CH2 +C2H6 +M→C3H8 + M （3-22）CH3+C2H3 +M→C3H6 + M（3-23）CH2+C2H4 +M→C3H6 + M（3-24）C2H5 +C2H5 +M→C4H10 +M（3-25）光谱分析结果证实等离子体作用下甲烷脱氢反应主要是自由基历程，因此多种反应途径并存。
将真空泵电磁线圈的接触点与断开的接触点连接，涂层附着力失效分析从而控制真空泵电机三相电源的接触点。
