反应性气体以化学反应为主，氧化膜对油漆附着力的影响电离后自由基与表面污染物发生化学反应，生产易挥发物质被排走，达到清洗的目的，氢气主要利用其还原作用，与被清洗件表面污染物发生反应，典型的如金属表面的氧化物清洗，氢气作为放电气体参与反应则发生还原反应，材料表面的氧化物与放电产生的氢离子反应生成水。而氧气主要利用其氧化作用，典型的如清除零件表面的有机物等。
等离子体清洗以物理反应为主，氧化膜对油漆附着力的影响其自身无化学反应，清洗表面不留氧化物，可保持被清洗物的化学纯净；缺点是对表面有少量的损伤，会产生很大的热效应，对被清洗物表面的各种不同物质选择性差，腐蚀速度低。 利用化学反应等离子体进行清洗，其优点是清洗速度高，选择性好，能更有效地清除有机物，缺点是会在表面产生氧化物。与物理反应相比，化学反应的缺点是不容易克服的。
R等离子体撞击表面的颗粒，氧化膜对油漆附着力的影响达到颗粒分解和松散（从基板表面分离）的效果，然后再配合超声波清洗或离心清洗将表面的颗粒去除。特别是在半导体封装工艺中，使用氩等离子体或氩氢等离子体对表面进行清洁，以防止引线键合工艺完成后的引线氧化。 (2)表面粗糙度等离子清洗机的表面粗糙度也称为表面蚀刻，旨在提高材料的表面粗糙度，大大提高粘接、印刷、焊接等的结合力。
在相同等离子条件下，油漆附着力等级2级其C2烃产品的选择性比Y-Al203高40个百分点，因此C2烃产品的收率较高；虽然负载金属催化剂Pd/Y-Al203对C2烃产品的收率影响不大，但可以显著改变C2烃产品的分布，微负载Pd可以显著提高C2H2在C2烃产品中的摩尔分...
