自由基的作用主要表现在化学响应过程中能量转移的“激活”作用，氧化膜附着力的影响处于激发状态的自由基具有较高的能量，因此，当它容易与物体外部的分子结合时，就会形成新的自由基，新形成的自由基也处于不稳定的高能状态，很可能会出现分化反响，反应过程可能会持续，最终分裂成水、二氧化碳等简单分子。在其他情况下，自由基与物体表面的分子结合，释放出大量的结合能，进而触发新的分子回击的驱动力，进而使物体表面的物质发生化学回击而被去除。
一、等离子清洗装置的特点——清洗表面清洁，氧化膜附着力的影响顾名思义，主要是去除产品表面的污染物，主要是清洗普通水基清洁设备无法彻底清洁的污染物。仅表面。产品表面侵蚀、弱键、典型的基于 CH 的氧化物和污染物去除。为下一步做好准备。
等离子清洗的机理主要是与材料表面发生反应。该反应可分为两种：粒子的化学作用，氧化膜附着力的影响主要是自由基活性粒子，和粒子的物理作用，主要是阳离子。和电子的。气体放电产生的等离子体包括电子、阳离子、亚稳态分子、原子等。当在洗手间浸入等离子体时，等离子体中的化学活性粒子会与材料表面的污染物发生化学反应。它是氢离子，反应是还原反应；如果是氧离子，就会发生氧化反应。
中小型多功能等离子清洗机受电场效果，氧化膜附着力的影响它们发生磕碰而构成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以损坏几乎所有的化学键，在任何暴露的外表引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学功能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而到达清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满意刻蚀的需要...
