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氮化钛镀层附着力测试方法

等离子处理器 Sigma 型硅锗沟槽形成控制:要在Р型源漏区形成sigma型硅沟槽,附着力试验视频首先需要通过化学气相沉积在多晶硅栅极上生长氧化硅膜和氮化硅膜。沉降。氮化硅薄膜层用于形成侧墙,以控制硅锗沟槽到栅极的距离。下氧化硅层是等离子处理器的蚀刻停止层,并且是与氮化硅层一样的应力缓冲层。然后,光刻工艺用光刻胶覆盖 IGMP 区域并暴露 PMOS 区域。接下来,您需要在 MIMO 区域形成一个侧壁间隔。

附着力试验视频

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