等离子体不与表面发生反应，氧等离子体和氮等离子体的区别但它会通过离子冲击清洁表面。典型的等离子化学清洗工艺是氧等离子清洗。等离子体产生的氧自由基具有很强的反应性，很容易与碳氢化合物反应生成二氧化碳、一氧化碳和水等挥发物，从而去除表面污染物。...基于物理反应的等离子清洗，也称为溅射刻蚀（SPE）或离子铣削（IM），具有不发生化学反应、清洗表面不残留氧化物、能够保留待清洗物体等优点。
等离子加工技术是将等离子体中的高能粒子与材料表面碰撞，氧等离子体成分使表面材料劣化，提高表面粗糙度。如果等离子体装置具有其他活性粒子，例如氧等离子体，则可以激活表面材料，从而激活表面材料。等离子处理技术可应用于纤维、塑料、橡胶和复合材料的表面处理，可利用活性气体（如氧气）产生颗粒，活化复合材料表面，从而产生足够的粘合强度。。等离子器具可以处理材料的表面。根据工艺和产品，表面可以单独清洁或清洁。
尤其是长期留置的导管，氧等离子体和氮等离子体的区别橡胶老化会阻塞球囊管腔，强行取出会导致严重的并发症。为了防止与人体接触的硅橡胶表面老化，需要对表面进行氧等离子体处理。采用扫描电镜（SEM）、红外光谱（FTIR-ATR）、表面接触角等方法检测氧等离子体处理前后天然乳胶导尿管表面结构、特性及化学成分的变化。 .氧等离子处理是一种有效的表面处理方法，因为它很滑，表面接触角从84°降低到67°，表面不会产生有害基团。
真空等离子体状态下的氧等离子体呈浅蓝色，氧等离子体和氮等离子体的区别部分放电条件与白色相似。放电环境的光线相对较亮，肉眼可能看不到真空腔内的放电。2)AR是1种稀有气体。电离后存在的离子体不容易与基板产生化学变化。适用于等离子体清洗基板表面的物理清洗和表面钝化处理。较大的特点是表面清洗不容易造成高精密电子仪器的表面氧化。因此，AR等离子体清洗机广泛应用于半导体、微电子、晶圆制造等行业。电离在 等离子体处理器中存...
