这些污染物通常在晶圆表面形成有机薄膜，油漆过期会出影响附着力吗阻止清洗液到达晶圆表面，导致晶圆表面清洗不彻底，使清洗后的晶圆表面金属杂质等污染物保持完好。此类污染物的去除通常在清洗过程开始时进行，主要使用硫酸和过氧化氢。随着半导体工艺的不断发展，对工艺技术的要求越来越高，尤其是对半导体晶圆表面质量的要求越来越高。主要原因是晶圆表面颗粒和金属杂质的污染会比较严重健全设备的质量和产量。
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